低電力で水銀不使用 ニコン初のUV-LED光源FPD露光装置：フォーカス補正システム採用

ニコンは、UV-LED光源を採用したFPD露光装置「FX-88SL」「FX-88SLD」を発表した。4回のスキャンで、2290×2620mmの第8世代プレートを全面露光できる。